SJ/T 31079-1994 正胶显影机、负胶显影机、匀胶机完好要求和检查评定方法

as848715529 · 发表于 2021-12-4 01:55

正胶显影机、负胶显影机、匀胶机完好要求和检查评定方法（SJ/T 31079-1994），该标准的归口单位为无，正胶显影机、负胶显影机、匀胶机完好要求和检查评定方法（SJ/T 31079-1994）是在1994-04-15发布，在1994-06-01开始实施。
本标准规定了正胶显影机、负胶显影机、匀胶机和擦片机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于半导体集成电路、晶体管生产中,硅片正性胶显影的正胶显影机、负性胶显影的负股显影机、硅片涂胶自动匀胶机和自动擦片机。
本标准文件共有3页。

SJ_T 31079-1994 正胶显影机、负胶显影机、匀胶机完好要求和检查评定方法.pdf (558.38 KB)

fsddsad · 发表于 2023-2-10 09:23

很给力~

新人报道 · 发表于 2023-5-7 22:46

看一下

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SJ/T 31079-1994 正胶显影机、负胶显影机、匀胶机完好要求和检查评定方法

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