本标准为SJ 3249.3-1989,标准的中文名称为半绝缘砷化镓中铬浓度的红外吸收测试方法,标准的英文名称为Methods of measurement for chromium concentration in semi-insulation Gallium arsenide by infra-red absorption,本标准在1989-03-20发布,在1989-03-25开始实施。
本标准规定了半绝缘砷化镓中铬浓度的红外吸收测是原理、仪器设备、测量步骤、结果计算和精度等。本标准适用于掺铬水平法生长半绝缘砷化镓中Gr浓度的测定,适于样品厚度2~4mm。不适于铬浓度大于1.5×10^(17)cm^(-3)的试样。
本标准文件共有2页。 SJ 3249.3-1989 半绝缘砷化镓中铬浓度的红外吸收测试方法.pdf(333.3 KB)