混合集成电路统计过程控制技术实施指南(SJ/Z 21538-2018),英文名为Guide for statistical process control technique implementation of hybrid integrated circuits。
混合集成电路统计过程控制技术实施指南(SJ/Z 21538-2018)是在2018-12-29发布,在2019-03-01开始实施。
本标准规定了混合集成电路制造过程实施统计过程控制(statistical process control,以下简称SPC)技术的方法、主要步骤和相关技术的应用。本标准适用于混合集成电路制造过程实施SPC。
本标准文件共有83页。 SJ_Z 21538-2018 混合集成电路统计过程控制技术实施指南.pdf(41.34 MB)