本标准为JJF 1613-2017，标准的中文名称为掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范，标准的英文名称为Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity，本标准在2017-02-28发布，在2017-05-28开始实施。
该标准采用了标准ISO 18613-2013,NEQ。
本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器(以下简称仪器)的校准。
本标准文件共有16页。
JJF 1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范.pdf
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