蓝宝石单晶抛光片规范(SJ/T 11505-2015),该标准的归口单位为全国半导体设备与材料标准化技术委员会,英文名为Sapphire single crystal polished wafers specification。
蓝宝石单晶抛光片规范(SJ/T 11505-2015)是在2015-04-30发布,在2015-10-01开始实施。
本标准规定了衬底和红外探测器窗口用蓝宝石单晶抛光片的技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于泡生法和直拉法生长的蓝宝石单晶抛光片,其它方法生长的蓝宝石单晶抛光片也可参照本标准。
本标准文件共有12页。
SJ_T 11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范.pdf
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