GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢:本标准为GB/T 14851-2009，标准的中文名称为电子工业用气体 磷化氢，标准的英文名称为Gas for electronic industry. Phosphine，本标准在2009-10-30发布，在2010-05-01开始实施。
本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适角于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂
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GB_T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢.pdf