GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法:砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法（GB/T 8758-2006），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，英文名为Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference。
砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法（GB/T 8758-2006）是在2006-07-18发布，在2006-11-01开始实施。
本标准适用于砷化稼外延片外延层厚度的测量,测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02 Ω· cm,外延层的电阻率大于0.1 Ω·cm。
本标准文件共有7页。
GB_T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法.pdf