JB/T 10553-2006 真空技术 扩散硅压阻真空计:本标准为JB/T 10553-2006，标准的中文名称为真空技术 扩散硅压阻真空计，标准的英文名称为Vacuum technology. Piezoresistive silicon chip vacuum gauge，本标准在2006-05-06发布，在2006-10-01开始实施。
本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存。
本标准适用于测量压力为(100～1X105)Pa的扩散硅压阻真空计。
本标准文件共有13页。
JB_T 10553-2006 真空技术 扩散硅压阻真空计.pdf