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JJG 48-2004 硅单晶电阻率标准样片检定规程.pdf

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JJG 48-2004 硅单晶电阻率标准样片检定规程:

本标准为JJG 48-2004，标准的中文名称为硅单晶电阻率标准样片检定规程，标准的英文名称为Verification Regulation of Standard Slice of Single Crystal Silicon Resistivity，本标准在2004-09-21发布，在2005-03-21开始实施。
本规程适用于硅单晶电阻率标准样片的首次检定、后续检定和使用中的检验。
本标准文件共有21页。

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