JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉:本标准为JB/T 10439-2004，标准的中文名称为单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉，标准的英文名称为Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by czochralski method，本标准在2004-03-12发布，在2004-08-01开始实施。
本标准作废日期为2017-05-12。本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉(以下简称单晶炉)的各项要求,包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
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JB_T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉.pdf