GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片:硅单晶抛光片（GB/T 12964-2003），该标准的归口单位为中国有色金属工业标准计量质量研究所，英文名为Monocrystalline silicon polished wafers。
硅单晶抛光片（GB/T 12964-2003）是在2003-06-16发布，在2004-01-01开始实施。
它在2019-06-01作废。被标准GB/T 12964-2018替代。
该标准采用了标准SEMI M1-0997,NEQ。
本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。
本标准文件共有11页。
GB_T 12964-2003 硅单晶抛光片.pdf