JJF 1100-2003 平面等厚干涉仪校准规范:平面等厚干涉仪校准规范(JJF 1100-2003),该标准的归口单位为全国几何量工程参量计量技术委员会,英文名为Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers。
平面等厚干涉仪校准规范(JJF 1100-2003)是在2003-05-12发布,在2003-11-12开始实施。
它在2017-05-30作废。被标准JJF 1100-2016替代。
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准,不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干涉装置的校准。
本标准文件共有14页。