SJ 20844-2002 半绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法:本标准为SJ 20844-2002，标准的中文名称为半绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法，标准的英文名称为Test method for microzone homogeneity of semi-insulating monocrystal gallium arsenide，本标准在2002-10-30发布，在2003-03-01开始实施。
本标准规定了半绝缘砷化镓晶片中电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱微区均匀性测量方法。本标准适用于半绝缘砷化镓晶片中电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱微区均匀性的测定。
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SJ 20844-2002 半绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法.pdf