SJ 20714-1998 砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法:本标准为SJ 20714-1998，标准的中文名称为砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法，标准的英文名称为Test method for sub-surface damage of gallium arsenide polished wafer by X-ray double crystal diffraction，本标准在1998-03-18发布，在1998-05-01开始实施。
本标准规定了砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法。本标准适用于经过化学、机械单面和双面抛光的砷化镓晶片亚损伤层的定性测量。
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