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GB_T 14015-1992 硅--蓝宝石外延片.pdf

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GB/T 14015-1992 硅--蓝宝石外延片:

硅--蓝宝石外延片（GB/T 14015-1992），该标准的归口单位为无，英文名为Silicon on sapphire epitaxial wafers。
硅--蓝宝石外延片（GB/T 14015-1992）是在1992-12-28发布，在1993-08-01开始实施。
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
本标准文件共有8页。

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