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JB_T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法.pdf

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上传时间: 2021-04-09
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JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法:

溅射离子泵性能测试方法（JB/T 2965-1992），该标准的归口单位为沈阳真空技术研究所，溅射离子泵性能测试方法（JB/T 2965-1992）是在1992-12-25发布，在1993-07-01开始实施。
它在2017-05-12作废。本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。本标准适用于抽速大于10的离子泵。
本标准文件共有6页。

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