YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法:外延钉缺陷的检验方法（YS/T 24-1992），该标准的归口单位为无，外延钉缺陷的检验方法（YS/T 24-1992）是在1992-03-09发布，在1993-01-01开始实施。
它在2016-09-01作废。被标准YS/T 24-2016替代。
本标准现定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小4μm的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
本标准文件共有3页。
YS_T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法.pdf