SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范:本标准为SJ/T 11275-2002，标准的中文名称为卧式液相外延系统通用规范，标准的英文名称为Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system，本标准在2002-10-30发布，在2003-03-01开始实施。
本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备,亦可参照执行。
本标准文件共有12页。
SJ_T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范.pdf