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SJ_T 11184-1998 显影设备通用规范.pdf

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上传时间: 2021-12-04
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SJ/T 11184-1998 显影设备通用规范:

本标准为SJ/T 11184-1998，标准的中文名称为显影设备通用规范，标准的英文名称为General specification for developing equipment，本标准在1998-03-11发布，在1998-05-01开始实施。
本标准规定了显影设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等(以下简称“基片”)的显影设备。
本标准文件共有9页。

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