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SJ_T 11181-1998 净化涂胶台通用规范.pdf

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上传时间: 2021-12-04
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SJ/T 11181-1998 净化涂胶台通用规范:

本标准为SJ/T 11181-1998，标准的中文名称为净化涂胶台通用规范，标准的英文名称为General specification for resist-coating stage with purified room，本标准在1998-03-11发布，在1998-05-01开始实施。
本标准规定了净化涂胶台(以下简称涂胶台)的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备,其它类型的涂胶设备也可参照使用。
本标准文件共有8页。

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