SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列:蒸发镀膜设备基本参数系列（SJ/T 11131-1997），该标准的归口单位为电子工业部标准化研究所，英文名为Basic parameter series of evaporation plating equipment。
蒸发镀膜设备基本参数系列（SJ/T 11131-1997）是在1997-09-03发布，在1998-01-01开始实施。
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)Pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
本标准文件共有4页。
SJ_T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列.pdf