SJ 20514-1995 微波功率晶体管用硅外延片规范:微波功率晶体管用硅外延片规范(SJ 20514-1995),该标准的归口单位为中国电子技术标准化研究所,英文名为Specification for silicon epitaxial wafer for microwave power transistor。
微波功率晶体管用硅外延片规范(SJ 20514-1995)是在1995-05-25发布,在1995-12-01开始实施。
本规范规定了微波功率警惕管用硅外延片的要求、质量保证规定、交货准备及有关规则。本规范主要适用于微波功率晶体管用直径为38mm以上的同质硅外延片,其他半导体分立器件同质硅外延片也可参照采用。
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