SJ/T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件:本标准为SJ/T 10583-1994，标准的中文名称为气体质量流量控制器通用技术条件，标准的英文名称为General specification for gas mass flow controller，本标准在1994-08-08发布，在1994-12-01开始实施。
本标准作废日期为2016-09-01。被标准SJ/T 10583-2016替代。
本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器(以下简称控制器)。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼,以及化工、冶金、卫生等部门。
本标准文件共有16页。
SJ_T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件.pdf