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SJ_T 31119-1994 掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法.pdf

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SJ/T 31119-1994 掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法:

掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法（SJ/T 31119-1994），该标准的归口单位为无，掩模对准曝光机完好要求和检查评定方法（SJ/T 31119-1994）是在1994-04-15发布，在1994-06-01开始实施。
本标准规定了掩模对准曝光机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于接触曝光以及同时具备接触曝光和接近曝光功能的掩模对准曝光机。
本标准文件共有3页。

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