SJ/T 31082-1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法:真空镀膜设备完好要求和检查评定方法（SJ/T 31082-1994），该标准的归口单位为无，真空镀膜设备完好要求和检查评定方法（SJ/T 31082-1994）是在1994-04-15发布，在1994-06-01开始实施。
它在2017-05-12作废。本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于极限压力在1×10^(-5)～1×10^(-4)pa范围内的各种型号真空镀膜设备。
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SJ_T 31082-1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法.pdf