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SJ_T 31084-1994 电子束蒸发台完好要求和检查评定方法.pdf

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SJ/T 31084-1994 电子束蒸发台完好要求和检查评定方法:

电子束蒸发台完好要求和检查评定方法（SJ/T 31084-1994），该标准的归口单位为无，电子束蒸发台完好要求和检查评定方法（SJ/T 31084-1994）是在1994-04-15发布，在1994-06-01开始实施。
本标准规定了电子束蒸发台的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于400SC3036型和EBX-12C电子束蒸发台,也适用于CL680型、HCV-12p-70A型蒸发台。
本标准文件共有3页。

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