SJ/T 31094-1994 GLP--30型陶瓷劈刀研磨机完好要求和检查评定方法:GLP--30型陶瓷劈刀研磨机完好要求和检查评定方法(SJ/T 31094-1994),该标准的归口单位为无,GLP--30型陶瓷劈刀研磨机完好要求和检查评定方法(SJ/T 31094-1994)是在1994-04-15发布,在1994-06-01开始实施。
它在2017-05-12作废。本标准规定了半导体电路生产用GLP-30型陶瓷劈刀研磨机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于GLP-30型陶瓷劈刀研磨机,其它型号的劈刀研磨机也可参照执行。
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