SJ/T 31097-1994 TDH--4C4TO型去飞边机完好要求和检查评定方法:TDH--4C4TO型去飞边机完好要求和检查评定方法（SJ/T 31097-1994），该标准的归口单位为无，TDH--4C4TO型去飞边机完好要求和检查评定方法（SJ/T 31097-1994）是在1994-04-15发布，在1994-06-01开始实施。
它在2017-05-12作废。本标准规定了半导体集成电路生产用TDH-4C4TO型去飞边机的完好要求和检查、评定方法。本标准只适用于TDH-4C4TO型去飞边机。
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