SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件:本标准为SJ/T 10478-1994，标准的中文名称为磁控溅射设备通用技术条件，标准的英文名称为General specification for magnetic sputtering equipment，本标准在1994-04-11发布，在1994-10-01开始实施。
本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于磁控溅射设备(以下简称“设备”)。
本标准文件共有10页。
SJ_T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件.pdf