SJ/T 10315-1992 四探针探头通用技术条件:本标准为SJ/T 10315-1992,标准的中文名称为四探针探头通用技术条件,标准的英文名称为Generic specification of Four-point probe,本标准在1992-06-15发布,在1992-12-01开始实施。
本标准规定了四探针探头(以下简称探头)的术语、技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业所使用的四探针法测试半导体棒、片、薄层以及金属薄层的电阻率、薄层电阻和电阻的探头。本标准与SJ/T 10314《直流四探针电阻率测试仪通用技术条件》标准配套使用。
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