SJ/T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件:电子束曝光机通用技术条件（SJ/T 10312-1992），该标准的归口单位为无，英文名为General specification of electron beam exposure system。
电子束曝光机通用技术条件（SJ/T 10312-1992）是在1992-06-15发布，在1992-12-01开始实施。
本标准规定了电子束曝光机(以下简称曝光机)的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。
本标准文件共有13页。
SJ_T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件.pdf