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YS_T 28-1992 硅片包装.pdf

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上传时间: 2021-12-07
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YS/T 28-1992 硅片包装:

本标准为YS/T 28-1992，标准的中文名称为硅片包装，本标准在1992-03-09发布，在1996-01-01开始实施。
本标准作废日期为2015-10-01。被标准YS/T 28-2015替代。
本标准规定了硅片包装的分级、技术要求、操作、运输和贮存。本标准适用于硅抛光片和硅外延片的包装。
本标准文件共有4页。

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