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YS_T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法.pdf

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YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法:

本标准为YS/T 15-1991，标准的中文名称为硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法，本标准在1991-04-26发布，在1992-06-01开始实施。
本标准作废日期为2015-10-01。被标准YS/T 15-2015替代。
本标准规定了硅外延层和扩散层厚度磨角染色达测试方法。本标准适用于薄层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的薄层厚度测量。测量范围:1～25 μm。
本标准文件共有6页。

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