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SJ 2593-1985 高纯四氯化硅.pdf

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上传时间: 2021-12-08
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SJ 2593-1985 高纯四氯化硅:

本标准为SJ 2593-1985，标准的中文名称为高纯四氯化硅，本标准在1985-07-31发布，在1986-01-01开始实施。
本标准适用于生长半导体器件及集成电路的硅外延片和生产光通讯器件用光纤予制作的四氯化硅。
本标准文件共有3页。

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