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GB_T 4060-1983 硅多晶真空区熔基硼检验方法.pdf

 

GB/T 4060-1983 硅多晶真空区熔基硼检验方法:
硅多晶真空区熔基硼检验方法(GB/T 4060-1983),该标准的归口单位为中国有色金属工业协会,英文名为Polycrystalline silicon--Examination method--Vacuum zone-melting on boron。
硅多晶真空区熔基硼检验方法(GB/T 4060-1983)是在1983-12-20发布,在1984-12-01开始实施。
它在2008-02-01作废。被标准GB/T 4060-2007替代。
本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。
本标准文件共有3页。

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