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JB_T 5629-1991 半导体器件烧结炉能耗分等.pdf

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JB/T 5629-1991 半导体器件烧结炉能耗分等:

半导体器件烧结炉能耗分等（JB/T 5629-1991），半导体器件烧结炉能耗分等（JB/T 5629-1991）是在1991-09-13发布，在1992-07-01开始实施。
它在2017-06-02作废。本标准规定了半导体器件烧结炉能耗分等。
本标准适用于电子工业企业半导体器件容量大于或等于20kW的烧结炉（以下简称烧结炉），单台或炉群。
本标准文件共有3页。

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