SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法:本标准为SJ/T 31080-2016，标准的中文名称为光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法，标准的英文名称为Pattern generator for photomask making requirements of readiness and methods of inspection assessment，本标准在2016-01-15发布，在2016-06-01开始实施。
本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器（如3600型、EM250型等）可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定。
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SJ_T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法.pdf