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标准规范网 下载中心 行业标准 【SJ】电子行业标准 SJ_T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范.pdf

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SJ_T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范.pdf

 

SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范:
本标准为SJ/T 11763-2020,标准的中文名称为半导体制造设备人机界面规范,本标准在2020-12-09发布,在2021-04-01开始实施。
本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。本标准适用于半导体制造设备。
本标准文件共有17页。


标准封面截图:
SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

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