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XB_T 515-2020 钪铝合金靶材.pdf

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上传时间: 2022-06-07
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XB/T 515-2020 钪铝合金靶材:

钪铝合金靶材（XB/T 515-2020），钪铝合金靶材（XB/T 515-2020）是在2020-12-09发布，在2021-04-01开始实施。
本标准规定了钪铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则与标志、包装、运输、贮存及质量证明书。本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域。
本标准文件共有7页。

标准封面截图：
XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

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