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GB_T 26111-2023 微机电系统（MEMS）技术术语.pdf

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GB/T 26111-2023 微机电系统（MEMS）技术术语:

本标准为GB/T 26111-2023，标准的中文名称为微机电系统（MEMS）技术术语，标准的英文名称为Micro-electromechanical system technology—Terms，本标准在2023-05-23发布，在2023-09-01开始实施。
该标准采用了标准MOD,IEC 62047-1-2016。
本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
本标准文件共有38页。

标准封面截图：
GB/T 26111-2023 微机电系统（MEMS）技术术语

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