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DB35_T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法.pdf

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DB35/T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法:

《硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法》（DB35/T 1146-2011），适用地区为福建省，所属行业为科学研究和技术服务业，该标准的归口单位为中国科学院福建物质结构研究所，《硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法》（DB35/T 1146-2011）是在2011-04-10发布，在2011-07-10开始实施。
本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法（G D M S )所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素L i、Be、B、N a、M g、A 1、P、K、T h、U等元素的测定
本标准文件共有12页。

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DB35/T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法

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