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YS_T 1141-2016 钛蒸发料.pdf

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YS/T 1141-2016 钛蒸发料:

本标准为YS/T 1141-2016，标准的中文名称为钛蒸发料，标准的英文名称为Evaporated titanium material，本标准在2016-07-11发布，在2017-01-01开始实施。
本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
本标准文件共有8页。

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