YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法:本标准为YS/T 23-2016，标准的中文名称为硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法，标准的英文名称为Test method for thickness of epitaxial layers. Stacking fault size，本标准在2016-04-05发布，在2016-09-01开始实施。
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。本标准适用于在<111>、<100>、和<110>晶向的硅单晶衬底上生长的2μm～120μm硅外延层厚度的测量。
本标准文件共有8页。
YS_T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法.pdf