SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范:喷雾式涂覆设备通用规范（SJ/T 11576-2016），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为General Specification for Spray Coating Equipment。
喷雾式涂覆设备通用规范（SJ/T 11576-2016）是在2016-01-15发布，在2016-06-01开始实施。
本规范规定了喷雾式涂覆设备（以下简称“设备”）的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中，在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。
本标准文件共有13页。
SJ_T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范.pdf