SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范:薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范（SJ/T 11516-2015），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为Specification for thin film transistor (TFT) mask。
薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范（SJ/T 11516-2015）是在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了薄膜晶体管(TFT)用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。
本标准文件共有12页。
SJ_T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范.pdf