GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅:本标准为GB/T 30652-2014，标准的中文名称为硅外延用三氯氢硅，标准的英文名称为Trichlorosilane for silicon epitaxial，本标准在2014-12-31发布，在2015-09-01开始实施。
本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单(或合同)内容。本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅(以下简称产品)。
本标准文件共有6页。
GB_T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅.pdf