YS/T 954-2014 金砷蒸发料:金砷蒸发料(YS/T 954-2014),该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会,英文名为Gold-arsenic alloy for evaporating。
金砷蒸发料(YS/T 954-2014)是在2014-10-14发布,在2015-04-01开始实施。
本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)等内容。本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。
本标准文件共有10页。