YS/T 985-2014 硅抛光回收片:本标准为YS/T 985-2014，标准的中文名称为硅抛光回收片，标准的英文名称为Polished reclaimed silicon wafers，本标准在2014-10-14发布，在2015-04-01开始实施。
该标准采用了标准SEMI M38-0307,MOD。
本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片(主要包括100 mm、125 mm、150 mm和200 mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片)经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外,使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。
本标准文件共有13页。
YS_T 985-2014 硅抛光回收片.pdf