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YS_T 791-2012 铂靶.pdf

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YS/T 791-2012 铂靶:

铂靶（YS/T 791-2012），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，英文名为Platinum target。
铂靶（YS/T 791-2012）是在2012-11-07发布，在2013-03-01开始实施。
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材(以下简称铂靶),其他用途的铂靶材也可参照使用。
本标准文件共有6页。

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