JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范:扫描探针显微镜校准规范（JJF 1351-2012），该标准的归口单位为全国几何量长度计量技术委员会，英文名为Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes。
扫描探针显微镜校准规范（JJF 1351-2012）是在2012-06-18发布，在2012-09-18开始实施。
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。扫描探针显微镜根据其设计原理不同,校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量,不在本校准规范的适用范围。
本标准文件共有17页。
JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范.pdf